第890章 不在西方的收费站排队!烛龙亮剑,整条工业链换骨!

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  当晚九点。
  上沪晶圆基地,地下应急会议室。
  所有手机、手錶、无线设备全部封存。
  门外三道岗。
  门內坐满了人。
  半导体院士。
  光学专家。
  材料厂负责人。
  晶圆厂厂长。
  军工代表。
  中枢特派人员。
  还有从京城紧急接入的李援朝、王卫国、吴建邦、石磊。
  会议室中央,a-17样片的扫描图掛在主屏上。
  那条从废品里抽出来的势能谷线,扎进每个人心里。
  秦立成坐在靠边位置,眼眶还有点红。
  他已经让人查顾景山。
  可这个名字离开体系太久,能查到的东西不多。
  许燃站在白板前,没有开场白。
  “烛龙升级方案。”
  第一行字落下。
  会议室瞬间安静。
  许燃写下四个词。
  【负折射边缘態物镜】
  【多极势阱】
  【表面势能模板】
  【受控原子自组装】
  张怀民盯著白板。
  “你要正式放弃缩小投影?”
  “对。”
  许燃转身。
  “传统euv的核心逻辑,是把图案缩小后投到晶圆上。”
  “光源越短,物镜越强,掩膜越精,图案越细。”
  “这条路能走。”
  “西方走了几十年。”
  “问题是,他们把每个路口都修成收费站。”
  “我们不在收费站排队。”
  他点开下一页。
  屏幕上,烛龙底座的局部结构出现。
  这一次,比大会上多开放了几层参数。
  不少专家一眼看过去,后背发紧。
  环形量子光场阵列。
  负折射物镜组。
  原子源控制腔。
  多极电磁约束层。
  晶圆表面势能模板接口。
  许燃指著结构图。
  “烛龙不做缩小投影。”
  “烛龙做晶体级製造。”
  “用负折射边缘態物镜生成超分辨光场。”
  “用多极势阱锁定原子沉积位置。”
  “用电磁场修正原子迁移路径。”
  “用表面化学模板给晶圆写入势能差。”
  “最后,让材料从下往上长成逻辑结构。”
  会议室静了两秒。
  隨后,质疑炸开。
  一名材料院士直接站了起来。
  “许燃,原子不是棋子。”
  “热噪声、表面扩散、吸附能差,一堆变量。”
  “你让它站哪儿就站哪儿?”
  另一个晶圆厂负责人接话:
  “就算能站住,產能呢?”
  “我们不是实验室做纪念章。”
  “一条线一天要跑多少片?”
  “客户不会等你慢慢摆原子。”
  设备企业总师也皱眉。
  “晶圆表面缺陷怎么办?”
  “颗粒、台阶、应力、杂质。”
  “传统光刻已经被缺陷折磨得要命。”
  “你原子级製造,缺陷放大后只会更要命。”
  军工代表敲了敲桌子。
  “还有可靠性。”
  “逻辑单元能算一千组隨机布尔运算,不代表能过高低温、衝击、辐照和长寿命。”
  “军用晶片,不能只看开机亮不亮。”
  石磊在视频里也挠头。
  “我听著都觉得细。”
  “像拿筷子夹沙子。”
  吴建邦瞪他。
  “你不会说话就少说。”
  石磊理直气壮。
  “我这叫比喻。”
  会议室里有人低笑。
  紧张气氛被他搅开半寸。
  许燃没有急著反驳。
  他看向周群。
  “接盘古平台。”
  周群点头。
  “已接入离线推演库。”
  主屏切换。
  盘古平台开始加载三重同伦边界模型。
  红色点代表晶圆表面缺陷。
  黄色线代表局部势能扭曲。
  蓝色网格代表光场势阱。
  第一轮推演,故意塞入两万多个缺陷点。
  屏幕上,传统光刻图形一层层崩掉。
  套刻误差放大。
  线边粗糙度扩大。
  局部断路。
  一片红。
  不少晶圆厂负责人脸色发沉。
  这就是他们每天面对的噩梦。
  许燃开口:
  “传统路线怕缺陷。”
  “因为你先把图案投上去,再发现地不平。”
  “地一歪,后面全歪。”
  他按下第二轮推演。
  烛龙模型启动。
  蓝色势阱像一张网,先扫过晶圆表面。
  缺陷点被识別。
  局部势能被重构。
  原子迁移路径绕开红区。
  功能单元没有硬压在理想坐標上,而是在边界允许范围內完成闭合。
  屏幕刷新。
  【局部缺陷容忍率:提升14.8倍】
  【功能单元闭合率:99.2%】
  【关键路径偏移:低於閾值】
  张怀民身体前倾。
  “它不是消灭缺陷。”
  简瑶接话。
  “它先承认缺陷存在。”
  “再用拓扑边界绕过去。”
  许燃点头。
  “我们不把晶圆当白纸。”
  “晶圆不是白纸。”
  “它有伤、有纹、有脾气。”
  “烛龙先读它,再写它。”
  设备企业总师盯著数据,声音发哑。
  “这等於把缺陷检测从事后验尸,挪到製造前。”
  周群补了一句:
  “还不只是检测。”
  “它会改路径。”
  “电磁控制系统负责给原子迁移加偏置。”
  “偏左,就拉回来。”
  “偏右,就压下去。”
  “跑错区,边界把它踢出去。”
  材料院士还是皱眉。
  “能量稳定性呢?”
  “这么细的势阱,能量一抖就塌。”
  许燃看向另一个屏幕。
  “祝融脉衝阵列。”
  一组电池模块结构展开。
  “祝融固態电池不是只给车用。”
  “它的脉衝输出稳定,响应快。”
  “烛龙腔体需要的不是蛮力供电,是节拍。”
  “每一次沉积、每一次修正、每一次剔除,都要踩在同一个节拍上。”
  “祝融给节拍。”
  “负折射物镜给眼睛。”
  “周群的电磁系统给手。”
  “简瑶的三重同伦边界给规则。”
  “顾景山当年的表面势能模板,给地基。”
  会议室里没人说话了。
  几分钟前,大家还觉得这是狂想。
  现在,烛龙像一台已经露出骨架的巨兽。
  它不是凭空来的。
  祝融、负折射、盘古、三重同伦、a-17废案,全被许燃串到一起。
  那些分散在各个项目里的突破,突然变成了一条路。
  秦立成喃喃道:
  “原来不是单点技术。”
  “是整条工业链换骨。”
  许燃转身,在白板上写下三行。
  【第一阶段:原子级逻辑单元】
  【第二阶段:小规模功能阵列】
  【第三阶段:晶圆级並行製造】
  “產能问题,不用传统光刻的思路算。”
  “我们不是一台大机器打一整片图。”
  “我们做多腔並行。”
  “先攻高价值小阵列。”
  “军工控制晶片、航天抗辐照单元、核心加速器、国產eda验证平台。”
  “量少,价值高,容错窗口明確。”
  “等势能模板和多腔一致性打穿,再上晶圆级並行。”

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