第892章 不是替代是重做！这座百年巨塔，已经在推了！
合作攻关组掛牌后的第一个清晨，303所门口来了三辆黑色通勤车。
车身没有標识。
车窗贴著深色防窥膜。
车门打开时，先下来的是两名安保，隨后才是几个头髮花白的老人。
他们每个人手里都拎著加密箱。
箱体上贴著红色封条。
【绝密光学资料】
秦立成站在门口迎接，声音压得很低。
“许总，他们到了。”
许燃从大厅里走出来，看了一眼队伍最前方的白髮老人。
张怀民低声介绍：
“罗世钧院士。”
“国內传统光刻物镜这一块，绕不开他。”
罗世钧穿著灰色夹克，背挺得很直，眼神像磨旧的工具机刀头，旧归旧，刃还利。
他伸出手。
“许总，久仰。”
许燃握住他的手。
“辛苦了。”
罗世钧看向许燃身后的地下通道。
“我们带来的东西，不能在普通会议室展开。”
“这里面有十七套高数值孔径物镜路线，两套极限备选方案，还有一批从没公开过的玻璃熔炼和镀膜数据。”
旁边一名中年专家补了一句：
“这是我们几十年一点点啃下来的家底。”
许燃点头。
“去地下二层密室。”
陈容与远程窗口一亮，忍不住插了一句：
“欢迎各位光学前辈蒞临原子排队现场。”
老郑看了他一眼。
“你少说两句，没人把你当哑巴。”
陈容与立刻缩回去。
“收到，我安静。”
没人理他。
半小时后。
地下二层光学评审室。
所有加密箱开启。
一摞摞资料被摆上桌。
超低膨胀玻璃。
氟化钙晶体。
多组非球面镜。
超高精度镀膜。
主动热漂移补偿。
七十二点波前控制。
几名老专家站在屏幕前，讲得不快。
罗世钧指著主图。
“我们不否认烛龙的原子製造路线有突破。”
“可只要涉及光场诊断，只要涉及势阱闭合，就绕不开物镜。”
“阿贝极限不是一句口號。”
“数值孔径、波长、相干性、像差控制，这些东西不讲情面。”
他停顿一下，看向许燃。
“许总，你要做0.1纳米，我们支持。”
“但前端诊断物镜，不能靠想像。”
另一名老专家接过话。
“这套方案如果拿到完整供应链，能支撑国內7纳米验证。”
“再往前走，很难。”
“可在现有条件下，这已经是国內极限。”
会议室里没人打断。
秦立成坐在后排，听得手心冒汗。
这些老专家不是来拖后腿的。
他们是真把压箱底的东西带来了。
东西不新。
却是国內磨得最锋利的一套方案。
许燃翻资料的速度却越来越快。
第一页。
第三页。
第九页。
第二十七页。
罗世钧看著他的手，眉头慢慢皱起。
“许总，不用全看完？”
许燃把资料合上。
“看完了。”
屋里瞬间安静。
那名中年专家忍不住开口：
“这可是十七套方案。”
“有些波前模型，一页公式推导就够看半天。”
许燃抬头。
“结论一样。”
罗世钧盯著他。
“什么结论？”
许燃只说了两个字。
“落后。”
空气像一下子凝住了。
中年专家脸色当场沉下去。
“许总，这话过了吧？”
“我们承认你在能源、空天、原子製造上走到了前面。”
“可光学物镜这条路，我们这帮人走了一辈子。”
“你翻了几页，就说落后？”
另一名老人也开口：
“这套方案承载了几代人的心血。”
“为了那块玻璃，我们有人在炉前守了三个月。”
“为了一个镀膜窗口，我们报废过上百片基底。”
“落后两个字，太轻了。”
罗世钧没有拍桌子。
他只是把眼镜摘下来，慢慢擦了一遍。
“许总，我想听理由。”
张怀民看向许燃，没有劝。
他太清楚许燃。
这小子嘴狠。
可从来不空口伤人。
许燃站起来，走到屏幕前。
“我说落后，不是说你们落后。”
“是这套打法落后。”
他点开方案主图。
“多组镜片堆叠。”
“高数值孔径硬冲。”
“靠材料均匀性压像差。”
“靠主动补偿修热漂移。”
“靠更高加工精度去堵每一个误差口。”
“你们是在和阿贝极限硬碰硬。”
“就算打贏了，也只是追上西方昨天的路线。”
中年专家咬牙。
“那你说，不打阿贝极限，打什么？”
许燃看向周群。
“开测试台。”
周群已经站起来。
“普通光源？”
“普通光源。”
罗世钧眉头一跳。
“普通光源？”
“你拿普通光源测超分辨物镜？”
陈容与的远程窗口又亮了。
“罗院，先別急。”
“我们这边一向讲究朴素，能简单测，就不先上大阵仗。”
老郑直接关了他的麦。
周群把一套便携测试台推到桌前。
它不大。
没有庞大的真空腔和一人高的镜筒。
中间只放著一片薄薄的模块。
那东西看起来像几层透明薄片叠在一起。
边缘泛著一点暗灰色金属光。
中年专家看得一愣。
“这是什么？”
周群说：
“透镜模组。”
他把光路锁定。
罗世钧差点气笑。
“这也叫透镜？”
“遮光片都比它厚。”
许燃没有解释。
“上標准板。”
周群放入亚波长刻线样品。
普通光源点亮。
一束白光穿过那片薄得不像话的模组，落到探测屏上。
一开始，屏幕上只有模糊亮斑。
几秒后，简瑶接入边界態解码模型。
画面一跳。
原本该糊成一片的细微结构，被一点点撕开。
刻线。
断点。
边缘缺陷。
局部材料起伏。
全都露了出来。
会议室里没人说话。
罗世钧身体猛地前倾。
中年专家第一个反应过来。
“不可能。”
“探测器过採样。”
周群看向他。
“换。”
备用探测器接入。
结果不变。
另一名老人立刻说：
“算法重构。”
简瑶抬头。
“关掉补偿算法，只保留原始相位映射。”
画面再次刷新。
细节少了一点。
可超分辨结构还在。
罗世钧声音发紧。
“换样品。”
秦立成立刻让人送上另一块隨机缺陷標定片。
周群重新校准光路。
白光穿过模组。
屏幕上又一次出现远超传统衍射极限的细节。
这一次，连那名中年专家都不说话了。
他盯著屏幕，眼神像被钉住一样。
“再换检测路径。”
简瑶直接把光源角度改掉。
“偏振態打乱。”
周群接上多角度偏振。
“环境噪声抬高。”
老郑把旁边一台老设备打开，让底噪往上飘。
屏幕闪了几下。
图像仍然稳住了。
罗世钧的手按在桌面上，指节微微发白。
“这不符合体相传播。”
许燃点头。
“所以我们不走体相。”
他走到测试台旁边，指了指那片极简透镜模组。
“负折射边缘態材料。”
“传统透镜让光穿过材料內部。”
“材料有折射率波动，就会带来像差。”
“你们用十几组镜片去修。”
“越修，系统越重。”
“系统越重，热漂移、装调误差、机械振动全都会进来。”
“我们换一条路。”
他手指落在模组边缘。
“光不从体相走，从边界走。”
罗世钧抬头。
“拓扑边缘態导光？”
简瑶接话。
“对。”
“材料內部可以有缺陷。”
“但边界態看的不是单个缺陷，而是整体拓扑结构。”
“只要边界闭合，光路就不会轻易被体相噪声拖垮。”
周群补了一句：
“负折射不是拿来炫技。”
“它把原本散掉的高频信息，从边界拖回来。”
“这並非正面突破阿贝极限。”
“而是绕开阿贝极限那张桌子。”
中年专家低声骂了一句。
“这也太不讲规矩了。”
老郑瞥他。
“科研讲的是结果。”
“能跑通，就是规矩。”
屋里终於响起几声压著的笑。
可笑声很快停了。
因为屏幕上，简瑶把a-17样片的势能谷线叠了进去。
那片十四年前被判死刑的废样片，在负折射边缘態物镜下，展现出另一层结构。
是表面势能的长程走向。
罗世钧猛地站起来。
“这东西能读晶圆表面势能？”
许燃点头。
“烛龙需要一双眼睛。”
“不是看光刻图案。”
“是看原子该往哪儿落。”
罗世钧走到测试台前，弯下腰。
他的动作很慢，像怕惊动什么。
“你们想用这几层边缘態材料，替代几十片高精密镜组？”
周群摇头。
“不是替代。”
“是重做。”
中年专家脸上掛不住了。
“重做容易。”
“工程化呢？”
“热稳定呢？”
“批量一致性呢？”
“边缘態材料良率呢？”
陈容与的麦又被他自己打开了。
“良率九十四点八。”
“昨天还九十一，今天凌晨刚抬上去。”
“暂时能看，但我不满意。”
罗世钧看向屏幕。
“九十四点八？”
陈容与点头。
“对，暂时的。”
“还得往上压。”
这下连张怀民都没忍住笑了一声。
罗世钧却笑不出来。
他把老式笔记本掏出来，手写了几行，又猛地停住。
“色散补偿怎么做？”
简瑶调出偏振耦合模型。
“不是传统色散补偿。”
“多极光源分频，边缘態透镜只负责锁住相位骨架。”
“色差不在镜组里修。”
“在光场势阱里消。”
罗世钧深吸一口气。
“场曲？”
周群说：
“拓扑边界映射。”
“畸变？”
许燃说：
“材料边界提前校正。”
“装调误差？”
老郑接话：
“少了几十片镜子，能调出来的误差也少了。”
中年专家张了张嘴。
半天没说出话。
他看了一眼桌上那摞厚资料，又看了一眼测试台上的薄片。
几十年堆出来的玻璃山，被一片薄薄的东西压得说不出声。
这感觉太难受。
又太痛快。
罗世钧忽然抬手，按住那名中年专家的肩膀。
“別爭了。”
中年专家咬牙。
“老师……”
罗世钧盯著屏幕上的势能谷线。
“我们不是输给几层膜。”
“是新路线已经走到门口了。”
他沉默几秒，声音哑下来。
“许总，我问一句。”
许燃看著他。
罗世钧一字一顿。
“物镜系统，能推倒重来吗？”
会议室里所有目光都落到许燃身上。
许燃转身，打开地下五层的烛龙主腔结构图。
负折射边缘態透镜的位置，已经被標成红色。
他只回了一句。
“已经在推了。”
车身没有標识。
车窗贴著深色防窥膜。
车门打开时，先下来的是两名安保，隨后才是几个头髮花白的老人。
他们每个人手里都拎著加密箱。
箱体上贴著红色封条。
【绝密光学资料】
秦立成站在门口迎接，声音压得很低。
“许总，他们到了。”
许燃从大厅里走出来，看了一眼队伍最前方的白髮老人。
张怀民低声介绍：
“罗世钧院士。”
“国內传统光刻物镜这一块，绕不开他。”
罗世钧穿著灰色夹克，背挺得很直，眼神像磨旧的工具机刀头，旧归旧，刃还利。
他伸出手。
“许总，久仰。”
许燃握住他的手。
“辛苦了。”
罗世钧看向许燃身后的地下通道。
“我们带来的东西，不能在普通会议室展开。”
“这里面有十七套高数值孔径物镜路线，两套极限备选方案，还有一批从没公开过的玻璃熔炼和镀膜数据。”
旁边一名中年专家补了一句：
“这是我们几十年一点点啃下来的家底。”
许燃点头。
“去地下二层密室。”
陈容与远程窗口一亮，忍不住插了一句：
“欢迎各位光学前辈蒞临原子排队现场。”
老郑看了他一眼。
“你少说两句，没人把你当哑巴。”
陈容与立刻缩回去。
“收到，我安静。”
没人理他。
半小时后。
地下二层光学评审室。
所有加密箱开启。
一摞摞资料被摆上桌。
超低膨胀玻璃。
氟化钙晶体。
多组非球面镜。
超高精度镀膜。
主动热漂移补偿。
七十二点波前控制。
几名老专家站在屏幕前，讲得不快。
罗世钧指著主图。
“我们不否认烛龙的原子製造路线有突破。”
“可只要涉及光场诊断，只要涉及势阱闭合，就绕不开物镜。”
“阿贝极限不是一句口號。”
“数值孔径、波长、相干性、像差控制，这些东西不讲情面。”
他停顿一下，看向许燃。
“许总，你要做0.1纳米，我们支持。”
“但前端诊断物镜，不能靠想像。”
另一名老专家接过话。
“这套方案如果拿到完整供应链，能支撑国內7纳米验证。”
“再往前走，很难。”
“可在现有条件下，这已经是国內极限。”
会议室里没人打断。
秦立成坐在后排，听得手心冒汗。
这些老专家不是来拖后腿的。
他们是真把压箱底的东西带来了。
东西不新。
却是国內磨得最锋利的一套方案。
许燃翻资料的速度却越来越快。
第一页。
第三页。
第九页。
第二十七页。
罗世钧看著他的手，眉头慢慢皱起。
“许总，不用全看完？”
许燃把资料合上。
“看完了。”
屋里瞬间安静。
那名中年专家忍不住开口：
“这可是十七套方案。”
“有些波前模型，一页公式推导就够看半天。”
许燃抬头。
“结论一样。”
罗世钧盯著他。
“什么结论？”
许燃只说了两个字。
“落后。”
空气像一下子凝住了。
中年专家脸色当场沉下去。
“许总，这话过了吧？”
“我们承认你在能源、空天、原子製造上走到了前面。”
“可光学物镜这条路，我们这帮人走了一辈子。”
“你翻了几页，就说落后？”
另一名老人也开口：
“这套方案承载了几代人的心血。”
“为了那块玻璃，我们有人在炉前守了三个月。”
“为了一个镀膜窗口，我们报废过上百片基底。”
“落后两个字，太轻了。”
罗世钧没有拍桌子。
他只是把眼镜摘下来，慢慢擦了一遍。
“许总，我想听理由。”
张怀民看向许燃，没有劝。
他太清楚许燃。
这小子嘴狠。
可从来不空口伤人。
许燃站起来，走到屏幕前。
“我说落后，不是说你们落后。”
“是这套打法落后。”
他点开方案主图。
“多组镜片堆叠。”
“高数值孔径硬冲。”
“靠材料均匀性压像差。”
“靠主动补偿修热漂移。”
“靠更高加工精度去堵每一个误差口。”
“你们是在和阿贝极限硬碰硬。”
“就算打贏了，也只是追上西方昨天的路线。”
中年专家咬牙。
“那你说，不打阿贝极限，打什么？”
许燃看向周群。
“开测试台。”
周群已经站起来。
“普通光源？”
“普通光源。”
罗世钧眉头一跳。
“普通光源？”
“你拿普通光源测超分辨物镜？”
陈容与的远程窗口又亮了。
“罗院，先別急。”
“我们这边一向讲究朴素，能简单测，就不先上大阵仗。”
老郑直接关了他的麦。
周群把一套便携测试台推到桌前。
它不大。
没有庞大的真空腔和一人高的镜筒。
中间只放著一片薄薄的模块。
那东西看起来像几层透明薄片叠在一起。
边缘泛著一点暗灰色金属光。
中年专家看得一愣。
“这是什么？”
周群说：
“透镜模组。”
他把光路锁定。
罗世钧差点气笑。
“这也叫透镜？”
“遮光片都比它厚。”
许燃没有解释。
“上標准板。”
周群放入亚波长刻线样品。
普通光源点亮。
一束白光穿过那片薄得不像话的模组，落到探测屏上。
一开始，屏幕上只有模糊亮斑。
几秒后，简瑶接入边界態解码模型。
画面一跳。
原本该糊成一片的细微结构，被一点点撕开。
刻线。
断点。
边缘缺陷。
局部材料起伏。
全都露了出来。
会议室里没人说话。
罗世钧身体猛地前倾。
中年专家第一个反应过来。
“不可能。”
“探测器过採样。”
周群看向他。
“换。”
备用探测器接入。
结果不变。
另一名老人立刻说：
“算法重构。”
简瑶抬头。
“关掉补偿算法，只保留原始相位映射。”
画面再次刷新。
细节少了一点。
可超分辨结构还在。
罗世钧声音发紧。
“换样品。”
秦立成立刻让人送上另一块隨机缺陷標定片。
周群重新校准光路。
白光穿过模组。
屏幕上又一次出现远超传统衍射极限的细节。
这一次，连那名中年专家都不说话了。
他盯著屏幕，眼神像被钉住一样。
“再换检测路径。”
简瑶直接把光源角度改掉。
“偏振態打乱。”
周群接上多角度偏振。
“环境噪声抬高。”
老郑把旁边一台老设备打开，让底噪往上飘。
屏幕闪了几下。
图像仍然稳住了。
罗世钧的手按在桌面上，指节微微发白。
“这不符合体相传播。”
许燃点头。
“所以我们不走体相。”
他走到测试台旁边，指了指那片极简透镜模组。
“负折射边缘態材料。”
“传统透镜让光穿过材料內部。”
“材料有折射率波动，就会带来像差。”
“你们用十几组镜片去修。”
“越修，系统越重。”
“系统越重，热漂移、装调误差、机械振动全都会进来。”
“我们换一条路。”
他手指落在模组边缘。
“光不从体相走，从边界走。”
罗世钧抬头。
“拓扑边缘態导光？”
简瑶接话。
“对。”
“材料內部可以有缺陷。”
“但边界態看的不是单个缺陷，而是整体拓扑结构。”
“只要边界闭合，光路就不会轻易被体相噪声拖垮。”
周群补了一句：
“负折射不是拿来炫技。”
“它把原本散掉的高频信息，从边界拖回来。”
“这並非正面突破阿贝极限。”
“而是绕开阿贝极限那张桌子。”
中年专家低声骂了一句。
“这也太不讲规矩了。”
老郑瞥他。
“科研讲的是结果。”
“能跑通，就是规矩。”
屋里终於响起几声压著的笑。
可笑声很快停了。
因为屏幕上，简瑶把a-17样片的势能谷线叠了进去。
那片十四年前被判死刑的废样片，在负折射边缘態物镜下，展现出另一层结构。
是表面势能的长程走向。
罗世钧猛地站起来。
“这东西能读晶圆表面势能？”
许燃点头。
“烛龙需要一双眼睛。”
“不是看光刻图案。”
“是看原子该往哪儿落。”
罗世钧走到测试台前，弯下腰。
他的动作很慢，像怕惊动什么。
“你们想用这几层边缘態材料，替代几十片高精密镜组？”
周群摇头。
“不是替代。”
“是重做。”
中年专家脸上掛不住了。
“重做容易。”
“工程化呢？”
“热稳定呢？”
“批量一致性呢？”
“边缘態材料良率呢？”
陈容与的麦又被他自己打开了。
“良率九十四点八。”
“昨天还九十一，今天凌晨刚抬上去。”
“暂时能看，但我不满意。”
罗世钧看向屏幕。
“九十四点八？”
陈容与点头。
“对，暂时的。”
“还得往上压。”
这下连张怀民都没忍住笑了一声。
罗世钧却笑不出来。
他把老式笔记本掏出来，手写了几行，又猛地停住。
“色散补偿怎么做？”
简瑶调出偏振耦合模型。
“不是传统色散补偿。”
“多极光源分频，边缘態透镜只负责锁住相位骨架。”
“色差不在镜组里修。”
“在光场势阱里消。”
罗世钧深吸一口气。
“场曲？”
周群说：
“拓扑边界映射。”
“畸变？”
许燃说：
“材料边界提前校正。”
“装调误差？”
老郑接话：
“少了几十片镜子，能调出来的误差也少了。”
中年专家张了张嘴。
半天没说出话。
他看了一眼桌上那摞厚资料，又看了一眼测试台上的薄片。
几十年堆出来的玻璃山，被一片薄薄的东西压得说不出声。
这感觉太难受。
又太痛快。
罗世钧忽然抬手，按住那名中年专家的肩膀。
“別爭了。”
中年专家咬牙。
“老师……”
罗世钧盯著屏幕上的势能谷线。
“我们不是输给几层膜。”
“是新路线已经走到门口了。”
他沉默几秒，声音哑下来。
“许总，我问一句。”
许燃看著他。
罗世钧一字一顿。
“物镜系统，能推倒重来吗？”
会议室里所有目光都落到许燃身上。
许燃转身，打开地下五层的烛龙主腔结构图。
负折射边缘態透镜的位置，已经被標成红色。
他只回了一句。
“已经在推了。”