第320章 你的手比光刻机更不可替代
华科院半导体研究所。
暗室亮著红色安全灯。
光影把所有东西都染成了血色。
吴建华站在光刻机旁。
两眼布满红血丝。
下巴冒出一片灰白胡茬。
他在这间屋子里熬了三天三夜。
第一批八百颗t/r组件晶片的流片结果，全摊在工作檯上。
老周蹲在角落分拣。
合格的放左边，废的放右边。
左边的堆缓慢长高。
右边的堆长得更快。
“老吴，数出来了。”
老周直起腰，膝盖咔吧响了一声。
“合格六百零二颗。”
吴建华在脑子里盘算。
百分之七十五。
比顾总工预估的百分之八十，低了五个百分点。
“前三百颗没问题，良率在百分之八十三左右。”
老周翻开记录本。
“从第三百五十颗开始往下掉，越到后面废得越多。”
“最后一百颗，废了將近四成。”
吴建华沉著脸，走到光刻机前蹲下。
这台国產接触式光刻机是全所的宝贝。
机身的漆皮磕掉了好几块，露出底下的灰色铸铁。
他伸手摸向掩模版固定架的导轨。
导轨边缘有极细微的磨损。
“老周，你过来看。”
老周凑上前。
“导轨磨损了。”
“套刻对准每跑一批就会漂一点。”
“漂到后面，三微米的线宽容限根本兜不住。”
老周张了张嘴：“那……换导轨？”
“换个屁。”吴建华站起身，一巴掌拍在机器外壳上。
“全国就这么一台能干这活的光刻机，备件找谁去要？找老天爷？”
暗室里安静下来。
红色灯光拉长了吴建华的影子。
“打电话。”他说。
“打给谁？”
“长空基地顾总工！”
……
吴建华大步走出去，抓起桌上的红色保密专线电话，要通了长空基地。
长空基地。
顾昭昭的办公室。
桌上的红色保密专线电话响了三声。
顾昭昭放下笔，拿起听筒。
“顾总工，我吴建华。”
“说。”
“第一批八百颗流完了，良率百分之七十五，没达標。”
听筒那头沉默了一秒。
“前段和后段的良率分別多少？”
吴建华报了数。
“光刻机连续作业多长时间了？”
“七十二小时。”
“暗室环境温度波动范围？”
吴建华顿了一下，转头冲老周喊：“温度记录仪拿来！”
老周扯下纸带念数据。
“最高二十三点八度，最低二十一点六度。”
“波动正负一度左右。”
吴建华对著话筒重复了一遍。
“光源用了多久没换？”
“这批灯管……”吴建华想了想，“装上去大概四百个小时。”
“掩模版的材质？”
“钠钙玻璃。”
话筒那头没声了。
吴建华握著听筒，手心出了汗。
电话线里传来极轻微的翻页声。
顾昭昭在翻她的笔记本。
“吴所长，三个问题。”
吴建华猛地挺直腰板。
“第一，你的暗室温控做到正负一度，对接触式光刻来说不够。”
吴建华捏紧了话筒。
“零点五微米的变形，叠加导轨的机械漂移，你的套刻误差直接翻倍。”
“后段的废片，至少有一半是这个原因。”
“第二，光源衰减。”
“四百小时的紫外灯管，输出强度至少下降了百分之十五。”
吴建华把听筒换到左手，右手摸起铅笔快速记录。
“解决办法——去找一台高精度的恆温机组，把暗室温控精度压到正负零点三度以內。”
“灯管立刻换新。”
“每做完五十片，停机重新校准一次套刻对准標记。”
“不要贪快。”
吴建华记完最后一个字，笔尖在纸上戳出一个黑点。
“顾总工，明白了。”
“第三。”
“还有？”
“你三天没睡了。”
电话这头只剩呼吸声。
“人的手在连续工作七十二小时之后，精细操作的稳定性会下降百分之四十。”
“你现在上手操作，只会增加废品率。”
吴建华一时语塞。
“去睡四个小时，醒了再干。”
“我——”
“这是技术建议，不是客气话。”
“你的手，比光刻机的导轨更不可替代。”
咔嗒。
电话掛断。
吴建华举著听筒站在原地。
老周在旁边探头探脑。
“老吴，顾总工怎么说？”
吴建华慢慢把听筒放回座机。
“她说，让我去睡觉。”
“啊？”
“她还说，我的手比光刻机值钱。”
老周没憋住，扑哧笑出声，又赶紧捂住嘴。
吴建华瞪了他一眼，扯下记录纸。
“笑个屁！去，给我找高精度的恆温机组。”
“今天之內搬进来，找不到你就別回来了。”
“上哪儿找啊？”
“京市精密仪器二厂有一台日本三菱的恆温机组！那是去年刚花外匯进口的宝贝，他们还没捨得开箱。老周，你拿所里介绍信去跑。”
“跑不下来，就说是国家级军工重点配套，让他们厂长立刻接国防工办的电话，走紧急调拨手续！”
老周一溜烟跑了。
吴建华留在原地，把手里的事情逐一交代给值班技术员。
然后他走向休息室。
不是因为困。
是因为顾昭昭说了，他的手不可替代。
……
第二天下午。
一台崭新的日本三菱恆温机组轰轰响著装进暗室。
老周跑了大半个京市，鞋底磨穿了一只，硬是走手续把这台宝贝机组给紧急调拨了回来。
吴建华睡了六个小时。
洗了澡，刮乾净鬍子。
他站在暗室门口，拿著清单，把顾昭昭提的三个改进点逐项核对。
温控。
恆温机组开机运行两小时后，暗室温度稳定在二十二度正负零点二五度。
达標。
光源。
新灯管装好，输出功率校准完毕。
达標。
校准频率。
每五十片停机重校。
“开始。”
第二批流片启动。
第一个五十片出炉。
老周点清数目：“四十二片合格。良率百分之八十四。”
吴建华没出声。
第二个五十片。
四十一片，百分之八十二。
第三个五十片。
四十片，百分之八十。
三组数据稳稳噹噹。
前一批那种断崖式下跌再没出现。
老周捧著数据单跑到吴建华跟前。
“老吴！综合良率百分之八十二！”
“比顾总工预估的还高两个点！”
吴建华接过单子看完。
他走到暗室门口，掏出一根皱巴巴的烟，划火柴点上。
火苗一跳。
菸头亮起红光。
老周拍了拍他的肩膀。
“老吴，咱几辈子修来的福气，能给这丫头打下手。”
吴建华猛吸一口，把菸头摁灭在鞋底。
“別废话。”
他把菸头揣进兜里，转身走回暗室。
“四千零九十六颗合格晶片，按百分之八十二的良率算，至少要流五千颗。”
“三间暗室同时开工。”
“所有能上手的技术员全给我拉上来。”
“日夜两班倒，二十四小时不停。”
“是！”
暗室亮著红色安全灯。
光影把所有东西都染成了血色。
吴建华站在光刻机旁。
两眼布满红血丝。
下巴冒出一片灰白胡茬。
他在这间屋子里熬了三天三夜。
第一批八百颗t/r组件晶片的流片结果，全摊在工作檯上。
老周蹲在角落分拣。
合格的放左边，废的放右边。
左边的堆缓慢长高。
右边的堆长得更快。
“老吴，数出来了。”
老周直起腰，膝盖咔吧响了一声。
“合格六百零二颗。”
吴建华在脑子里盘算。
百分之七十五。
比顾总工预估的百分之八十，低了五个百分点。
“前三百颗没问题，良率在百分之八十三左右。”
老周翻开记录本。
“从第三百五十颗开始往下掉，越到后面废得越多。”
“最后一百颗，废了將近四成。”
吴建华沉著脸，走到光刻机前蹲下。
这台国產接触式光刻机是全所的宝贝。
机身的漆皮磕掉了好几块，露出底下的灰色铸铁。
他伸手摸向掩模版固定架的导轨。
导轨边缘有极细微的磨损。
“老周，你过来看。”
老周凑上前。
“导轨磨损了。”
“套刻对准每跑一批就会漂一点。”
“漂到后面，三微米的线宽容限根本兜不住。”
老周张了张嘴：“那……换导轨？”
“换个屁。”吴建华站起身，一巴掌拍在机器外壳上。
“全国就这么一台能干这活的光刻机，备件找谁去要？找老天爷？”
暗室里安静下来。
红色灯光拉长了吴建华的影子。
“打电话。”他说。
“打给谁？”
“长空基地顾总工！”
……
吴建华大步走出去，抓起桌上的红色保密专线电话，要通了长空基地。
长空基地。
顾昭昭的办公室。
桌上的红色保密专线电话响了三声。
顾昭昭放下笔，拿起听筒。
“顾总工，我吴建华。”
“说。”
“第一批八百颗流完了，良率百分之七十五，没达標。”
听筒那头沉默了一秒。
“前段和后段的良率分別多少？”
吴建华报了数。
“光刻机连续作业多长时间了？”
“七十二小时。”
“暗室环境温度波动范围？”
吴建华顿了一下，转头冲老周喊：“温度记录仪拿来！”
老周扯下纸带念数据。
“最高二十三点八度，最低二十一点六度。”
“波动正负一度左右。”
吴建华对著话筒重复了一遍。
“光源用了多久没换？”
“这批灯管……”吴建华想了想，“装上去大概四百个小时。”
“掩模版的材质？”
“钠钙玻璃。”
话筒那头没声了。
吴建华握著听筒，手心出了汗。
电话线里传来极轻微的翻页声。
顾昭昭在翻她的笔记本。
“吴所长，三个问题。”
吴建华猛地挺直腰板。
“第一，你的暗室温控做到正负一度，对接触式光刻来说不够。”
吴建华捏紧了话筒。
“零点五微米的变形，叠加导轨的机械漂移，你的套刻误差直接翻倍。”
“后段的废片，至少有一半是这个原因。”
“第二，光源衰减。”
“四百小时的紫外灯管，输出强度至少下降了百分之十五。”
吴建华把听筒换到左手，右手摸起铅笔快速记录。
“解决办法——去找一台高精度的恆温机组，把暗室温控精度压到正负零点三度以內。”
“灯管立刻换新。”
“每做完五十片，停机重新校准一次套刻对准標记。”
“不要贪快。”
吴建华记完最后一个字，笔尖在纸上戳出一个黑点。
“顾总工，明白了。”
“第三。”
“还有？”
“你三天没睡了。”
电话这头只剩呼吸声。
“人的手在连续工作七十二小时之后，精细操作的稳定性会下降百分之四十。”
“你现在上手操作，只会增加废品率。”
吴建华一时语塞。
“去睡四个小时，醒了再干。”
“我——”
“这是技术建议，不是客气话。”
“你的手，比光刻机的导轨更不可替代。”
咔嗒。
电话掛断。
吴建华举著听筒站在原地。
老周在旁边探头探脑。
“老吴，顾总工怎么说？”
吴建华慢慢把听筒放回座机。
“她说，让我去睡觉。”
“啊？”
“她还说，我的手比光刻机值钱。”
老周没憋住，扑哧笑出声，又赶紧捂住嘴。
吴建华瞪了他一眼，扯下记录纸。
“笑个屁！去，给我找高精度的恆温机组。”
“今天之內搬进来，找不到你就別回来了。”
“上哪儿找啊？”
“京市精密仪器二厂有一台日本三菱的恆温机组！那是去年刚花外匯进口的宝贝，他们还没捨得开箱。老周，你拿所里介绍信去跑。”
“跑不下来，就说是国家级军工重点配套，让他们厂长立刻接国防工办的电话，走紧急调拨手续！”
老周一溜烟跑了。
吴建华留在原地，把手里的事情逐一交代给值班技术员。
然后他走向休息室。
不是因为困。
是因为顾昭昭说了，他的手不可替代。
……
第二天下午。
一台崭新的日本三菱恆温机组轰轰响著装进暗室。
老周跑了大半个京市，鞋底磨穿了一只，硬是走手续把这台宝贝机组给紧急调拨了回来。
吴建华睡了六个小时。
洗了澡，刮乾净鬍子。
他站在暗室门口，拿著清单，把顾昭昭提的三个改进点逐项核对。
温控。
恆温机组开机运行两小时后，暗室温度稳定在二十二度正负零点二五度。
达標。
光源。
新灯管装好，输出功率校准完毕。
达標。
校准频率。
每五十片停机重校。
“开始。”
第二批流片启动。
第一个五十片出炉。
老周点清数目：“四十二片合格。良率百分之八十四。”
吴建华没出声。
第二个五十片。
四十一片，百分之八十二。
第三个五十片。
四十片，百分之八十。
三组数据稳稳噹噹。
前一批那种断崖式下跌再没出现。
老周捧著数据单跑到吴建华跟前。
“老吴！综合良率百分之八十二！”
“比顾总工预估的还高两个点！”
吴建华接过单子看完。
他走到暗室门口，掏出一根皱巴巴的烟，划火柴点上。
火苗一跳。
菸头亮起红光。
老周拍了拍他的肩膀。
“老吴，咱几辈子修来的福气，能给这丫头打下手。”
吴建华猛吸一口，把菸头摁灭在鞋底。
“別废话。”
他把菸头揣进兜里，转身走回暗室。
“四千零九十六颗合格晶片，按百分之八十二的良率算，至少要流五千颗。”
“三间暗室同时开工。”
“所有能上手的技术员全给我拉上来。”
“日夜两班倒，二十四小时不停。”
“是！”